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专为超大纳米平板扫描器测量而设计的自动化原子力显微镜系统
随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加,Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合,克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战。
Park NX-TSH能获得关于表面粗糙度,台阶高度,关键尺寸和侧壁信息的高分辨率图像和数据,从而为大型纳米级尺寸样品测量提供**解决方案。
Park NX-TSH的全自动特点:
• 可灵活掌握自动,半自动和手动模式
• 为每个自动化程序提供可编辑测量方法
• 实时监控测量过程
• 自动分析获取测量数据
- 自动换针器(ATX)
ATX通过模式识别自动定位探针,并使用一种新的磁性方法来取放新旧探针。激光光斑通过电动定位技术自动对准。
-电离系统可提供更稳定的扫描环境
Park创新的电离系统可快速有效地去除样品环境中的静电荷。由于该系统始终生成并保持正负离子的理想平衡,因此可以创建一个极其稳定的电荷环境,几乎不污染周围区域,并且将在样品处理过程中产品意外静电的风险降至*低。
Park NX-TSH技术参数:
*本技术参数是可定制的。可咨询Park原子力显微镜,以获取更多信息。
系统技术参数:
样品尺寸: 520 mm X 520 mm X12 mm, 10kg
电动式X方向载物台:行程可达625 mm,±3 μm分辨率
电动式Y方向载物台:行程可达525 mm,±3 μm分辨率
电动式Z方向载物台:Z轴移动距离为25 mm, 0.08 μm分辨率,重复性<1μm
电动式对焦台:Z轴行进光学距离为9 mm
COGNEX图案识别:图案校对分辨率为1/4像素
扫描器性能:
XY扫描范围:100 μm ×100 μm
XY分辨率:0.15 nm
Z扫描范围:15 μm
Z分辨率:0.016 nm
AFM和XY移动平台控制器
ADC:18个频道,4个高速通道,X,Y和Z位置传感器(24-位ADC)
DAC:12个频道,2个高速DAC通道,X,Y和Z的定位(20-bit DAC)
合规
CE认证:SEMI S2 / S8标准
设施要求
待机室温:10°C?40°C
工作室温:18°C?24°C
湿度:30%至60%(不凝结)
地板振动要求:VC-E(3微米/秒)
噪音:低于65 dB
气动式:真空度:-80 kPa
CDA(或N2):0.7 Mpa
电源额定值:208V-240 V,单相,17 A(**)
总耗电量:咨询Park原子力显微镜
接地电阻:低于100欧姆
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